超精密磨床（定量定壓複合控制磨床）

對應下一代SIC、GaN力量裝置的
批量生產化的研磨技術。
其他公司不能追隨的you優越效率和精度
於單結晶SiC和GaN、藍寶石晶片等的平坦化、薄化•加工歪曲層的極小化方面，
最終NAGASE都會被選擇。

特徵

推翻難削材薄片加工的常識、
全新研磨加工。
1.加工效率、品位、極少SSD、工具壽命。
將原來的加工方法，在所有的方面凌駕。
於東北大學共同研究研發出來的劃時代難加工材料的加工研磨方法。因獨家開發的智能車輪（專利取得）和定壓定量複合控制技術，實現優越的加工效率、品位的極小化、工具壽命。
2.實現最好的加工狀態
定量定壓複合控制技術（專利申請）。
爲了控制給工件的損壞而開發的技術。隨時檢測給工件和砂輪的壓力。利用ＮＣ，複合控制切入壓力和切入量。實現常事保持最高的條件的研磨。
3.實現超鏡面、超平面創造
究極的回轉・定位技術（專利取得）。
砂輪軸及工件軸承採用非接觸多面液靜壓力引導。還爲了實現定量定壓複合控制加工，在工件軸上採用了專門開發的雙靜壓軸承（特許取得）。因優勢於振動衰減性，實現沒有表面波動的超精密旋轉和高精度的上下定位，可製造超鏡面又超平面。
4.沒有加工面偏擺的超剛性結構。
因高剛性的床及獨家的龍門架結構，可減小各軸單獨切入以及加工面的偏擺。
5.可測量晶片厚度、自動加工。
可對應 自動加工、無塵室。
由於選配的±1μm精度，測量工件厚度，可對應自動加工。且可對應自動工件供給，無塵室規格（關於詳細規格請咨詢我司營業部）。

選配

按照客戶的要求，可自由定製。

系列

SiC和GaN等的平坦化、薄化、鏡面化研磨等的加工事例

讓原來的研磨方法凌駕的加工比率。
不需要抛光工程的面粗度、SSD。