具有6軸的多關節結構，可實現靈活搬運
-可用於從立式收納盒中取出基板以及伴有傾斜，翻轉等姿勢變換的所有搬運工作

擁有充足的可搬運能力的長臂延伸模式
-有能處理G10基板的臂長，其行程最大延伸至3.6m，上下行程為4.8m

1 [ rad] =180 /π [ [ °] ,1 [ N ･m] =1 / 9.8 [ kgf ･m] 
臂上的負荷搭載位置為第1臂或J3軸上部

(*1) 本產品的額定功率，規格，外部尺寸等如需改良而變更，恕不另行通告。
(*2) 如果本產品的最後使用者與軍事相關，或用於兵器等的製造，可能成為“外匯及國際貿易法”規定的出口限制的對象。出口時，請進行充分的審查和辦理所需的出口手續。