1. 冷卻水密閉循環裝置

特色:減少水質管理之負擔    
藉由熱交換器將冷卻水分離到冷卻塔（一次側）和機台側（二次側），機台側的冷卻水維持清潔。    
易於機台側的冷卻水的維持與管理，減少冷卻水相關之問題。    
一次側的水質有問題時，也有效。

用途:島津真空爐全機種

2. CASCADE控制（密封箱內溫度控制）

特色:改善升溫遲緩
・與之前的單一控制相比，可以控制到與處理物相近的溫度。
・緩和控制溫度與處理物溫度之抵銷。

用途:島津真空爐
【密封箱內溫度控制】
1)密封箱內溫度會回報至Master調節計
2)Master調節計會補正和設定溫度之溫度差
3)Master→Slave傳達補正訊號，補正訊號變為Slave設定値
4)密封箱外溫度(加熱區)回報至Slave調整計
5)密封箱外溫度和Slave設定値的補正訊號會輸入指示至各晶匣體 

3.遠端操作系統（PC控制）
特色:
1. 遠端操作
・可透過PC操作及監管真空爐。
・可利用公司區網在遠處操作和管理真空爐。

2. 便於管理各種資料
・各種設定可一起輸入，從PC匯入PLC，因此升溫模式等之輸入及變更變得容易。
・各種資料（圖表、警報紀錄等）的保存可以轉換成EXCEL檔。

用途:島津真空爐全機