高感度掃描型探針顯微鏡

HR-SPM為採用FM頻率調變檢出方式的新世代掃描型探針顯微鏡。過去的SPM(掃描型探針顯微鏡)/AFM(原子力顯微鏡)一般為AM(震幅調變)的方式， FM(頻率調變)方式原理上為高感度測定法，可以更高分解能成像。不僅可以超高分解能觀察大氣中以及液體中的樣品，也可觀察在固液界面的水合、溶合作用。