超精密形狀創成加工機 N2C SERIES

更新鏡頭研磨加工的記錄
世界最大的納米形狀生成加工機

特徵

玻璃等的脆性材料也可進行超鏡面加工。
實現中至大型的光學鏡頭的生產改革的功能。
1.針對1nm、10nm的NC命令值的，
優越的追隨性和反復再現性。
以「轉抄誤差零」為目標的究極納米研磨加工機。
砂輪軸、X,Y,Z軸等組成機械的基本軸的引導面採用了長年的納米加工機開發時徹底磨練出來的非接觸多面拘束液靜壓引導和線性馬達。於加工尺寸的全領域，達成了次微米的運動特性和反復再現性。
2.發揮加工點的剛性、反復再現性
高度的機械構造。
對高脆性材料也可確實進行1nm、10nm單位的切入的高剛性超精密機械設計。機械的各個單元是盡量採用了熱對象結構的原理。考慮長時間的加工以及周邊溫度環境的變化的高度設計。
3. 無與倫比的超精密分度單元和旋轉台（OP）。
可以搭載對應分度・回轉加工的超精密DD分度台（最小分辨率2/100000°）、或超精密旋轉台。使用液靜壓引導技術旋轉台有重量的meter-size工件加工也會發揮超群的精度。於軸向和徑向兩個方向實現了次微米為單位的旋轉精度。
4.能夠追求更先進的鏡面
以「波動影響零」為目標的新設計。
X,Y,Z軸的操作機構驅動方式是NAGASE可從獨家線性馬達驅動方式或滾珠螺桿裡面選擇。超精密線性馬達驅動方式實現了高精度•高速度的動作。而且由於「非接觸引導＋非接觸驅動」，控制機械機構起因的加工面的影響。能達到從來沒有的良好品位。
5.徹底消除外部摩擦的影響
採用了納米機械專用的高剛性主軸和極低振動馬達（獨家開發・製造）。另外，可自動測定•修正回轉中的砂輪的不平衡「平衡校正器（OP）」、爲了控制 獨立基礎時也30nm～50nm發生的外部干擾，搭載主動或消極型的超精密減震系統「納米自動穩定裝置（OP)」，能夠追求「特別接近零」的鏡面品位。
6.對應複合加工機、機上測量。
除了砂輪加工外，還搭載了小徑主軸單元的超鏡面銑床加工。因搭載刀桿，就可做超精密微細加工。如果想追求超鏡面品位，也可搭載抛光單元。超低震動特性規格的話，還可安裝光學干涉儀進行表面形狀測定。
7.可搭載各種的砂輪成形裝置。
可搭載W cup truer、立•臥型的旋轉修砂、搖頭修砂等。還可搭載ELID研磨系統。

選配

系列

大型的非球面鏡頭的超鏡面加工、形狀生成加工等的加工事例

meter-size也做得到次微米的形狀精度。
只研磨就可做納米級的自由曲面的鏡面加工。