東聖機械有限公司

超精密維細形狀加工機 NIC SERIES

特徵

目標是「轉抄誤差零」。
極限追求機器精度、反復再現性。
1.可十分活用1nm分辨率的指令值追蹤性，
加工點的優越的反復再現性。
以「轉抄誤差零」為目標的究極納米加工機。X、Y、Z、C軸上採用了因經過多年開發納米機器時徹底精煉的非接觸液靜壓引導。對納米單位的指令值特別上佳的追蹤功能，於加工點上實現優越的反復再現性。
2.高速進料和高品位加工的兩立。
獨家開發的超精密線性馬達驅動方式。
X、Y軸的致動器驅動方式採用了獨家開發的超精密線性馬達。而且於各機實現了給Z軸（上下）的搭載(OP)。X,Y軸的進料速度為25m/min、Z軸為1m/min。運動精神提高，實現比原本以上的高品位又高速度的加工。
3.同時６軸控制的多彩加工。
因新開發的工具旋轉軸（A、B），實現了同時6軸控制（OP）。還實現了原機無法實現的自由曲面上的2方向法線加工。因１納米分辨率的X、Y、Z軸、工件回轉軸C軸的同步，能夠於鏡頭和照明等模具表面上進行多彩加工。
4.基於精緻構造分析的機械設計。
床、鞍座、桌子、圓柱等是高度計算，以經驗為保證的高剛性構造。盡可能引進熱對象構造的設計原理，考慮至長時間的加工及周邊溫度環境的變化的設計。
5.超精密油溫、切削液溫管理。
實現了0.001（標準規格）或0.0001(OP)單位的超精密油溫管理。徹底控制溫度變化造成的機械姿勢和軸的變化。將切削用加工液或者霧狀加工液的溫度於加工點附近±0.1℃的穩定控制（標準規格）。還Nano back製品之中，能夠選擇適合客戶要求的加工液 (OP)。
6.經過10年也不變的精度和價值。
使用非接觸的引導面，經過長期使用也極小有精度惡化。還多用SUS的護罩，因此經年使用後也能保持美觀。
7.減震、周邊溫度、測定、CAD/CAM等
總計支援貴公司的微細加工。
反復再現性很高、爲了進行高精度的微細加工，不只是機械本機，需要掌握加工全部的「加工系統」的設計和構築。從這個點NAGASE提案設計適合微細加工的減震台、chamber、測定機器、 CAD/CAM。詳細内容請參考下述的選配欄。

■30nm溝槽加工時的上下軸的反復再現性2.7nm	■加工點的10nm階段進給精度
■應用直線軸（X、Y、Z軸）和工件回轉軸（C 軸）加工的樣子。 C軸的超精密分度反復定位精度0.189秒。	■實現了超低振動特性、安裝ZYGO等的白色干涉儀、能夠於機上測量非接觸表面形狀。
■5軸控制型可對應的加工（※具備３軸、４軸控制規格）	■6軸控制型可對應的加工（※回轉軸可設定於工具軸或工作台軸）

選配

為構築獨一無二的加工系統
具有許多必要的技術和主意。

■超精密能動減震系統「納米減震器」爲了除去獨立基礎上存在的30～50nm左右的外部騷亂、可裝載3點支撐的伺服加速反饋控制方式的能動減震系統（OP）。	■超精密精密周邊溫度控制系統「Nanoenviror 」為了控制加工機器本身的變形和工件的熱變形， 1/100℃或1/1000℃單位的溫度控制。實現每天 24小時23℃±0.1℃，因多用絕緣材料，白天和晚上24小時都達成了23℃±0．1℃。備有裝載型的超精密型和容易安裝型。
■超精密刀具形狀測量器“Nanoeye”」使用次微米分辨率測量旋轉中的工具。自動測量刀尖位置和直徑。也可以測量各種工具的偏移。透過數字輸出和視覺輸出能確認檢查測量數據（ OP）。	■對應非球面加工的CAD/CAM軟件「CAP-nano1」爲了最大限度減少操作員對技術技能的依賴，充實了加工支援數字操作軟件。還可對應非球面等的函数曲面，使用函數輸入可容易能變換CAD /CAM程序 (OP)。

〇自由曲面上的微細加工（或高度•複雜的自由曲面創建）

■自由曲面上的微細加工（自由曲面sin曲線加工）利用直線軸3軸（X，Y，Z）和回轉軸3軸（A， B，C），自由曲面上和工具面，可加工多樣的微細形狀。工件：無電解鎳磷鍍	■自由曲面上的微細溝槽加工（自由曲面光栅加工）寬度20mm的自由曲面（Logo部分）上生成深度1μm、間距2μm的微細溝槽10000條。溝槽間距精度是±0.15μm以内。工件：無電解鎳磷鍍
■對應大型的光學膜・鏡頭模具製造。最大加工面積φ700或者到1600×900mm的機械開發實績。大型的導光板和反射板、從偏光膜等的光學膜片到大型鏡頭模具都可對應。	■1μm的四棱錐加工微細溝槽加工的精度是出現在、前後、左右的加工交叉點。１μm的四棱錐加工也實現尖銳交點。工件：NiP 鍍鋁
■光學片模具樣品（微細V溝槽加工） 90°Vbite時生成深度2μm的間距4μm的溝40125 條。從工件轉抄結果可看見X-Z軸的補間精度為 20nm左右。	■光學片模具樣品（微細V溝槽sin彎曲加工） 90°Vbite時生成深度1μm，間距2μm的溝10000條。可從工件轉抄結果看見X-Y-C軸的補間精度為150nm程度左右。

〇超極小鏡頭加工（φ500μm以下或高外觀、大面積的微透鏡陣列加工）

■極小透鏡加工（超極小・高長寬比微透鏡加工
）
因超低振動・恆溫控制的獨家加工系統，達成了
φ50μm～φ500μm的極小透鏡加工。此外可加
工超高長寬比的透鏡。

■高面積的極小透鏡加工（到A4尺寸都有實績）
可高面積的微透鏡陣列加工。最大35萬個實績
。工具磨損最小，可超高品位的加工。面粗度
:Ra2.1nm、Rz15.3nm。

■超精密能動減震系統「納米減震器」爲了除去獨立基礎上存在的30～50nm左右的外部騷亂、可裝載3點支撐的伺服加速反饋控制方式的能動減震系統（OP）。	■超精密精密周邊溫度控制系統「Nanoenviror 」為了控制加工機器本身的變形和工件的熱變形， 1/100℃或1/1000℃單位的溫度控制。實現每天 24小時23℃±0.1℃，因多用絕緣材料，白天和晚上24小時都達成了23℃±0．1℃。備有裝載型的超精密型和容易安裝型。
■超精密刀具形狀測量器“Nanoeye”」使用次微米分辨率測量旋轉中的工具。自動測量刀尖位置和直徑。也可以測量各種工具的偏移。透過數字輸出和視覺輸出能確認檢查測量數據（ OP）。	■對應非球面加工的CAD/CAM軟件「CAP-nano1」爲了最大限度減少操作員對技術技能的依賴，充實了加工支援數字操作軟件。還可對應非球面等的函数曲面，使用函數輸入可容易能變換CAD /CAM程序 (OP)。

■自由曲面上的微細加工（自由曲面sin曲線加工）利用直線軸3軸（X，Y，Z）和回轉軸3軸（A， B，C），自由曲面上和工具面，可加工多樣的微細形狀。工件：無電解鎳磷鍍	■自由曲面上的微細溝槽加工（自由曲面光栅加工）寬度20mm的自由曲面（Logo部分）上生成深度1μm、間距2μm的微細溝槽10000條。溝槽間距精度是±0.15μm以内。工件：無電解鎳磷鍍
■對應大型的光學膜・鏡頭模具製造。最大加工面積φ700或者到1600×900mm的機械開發實績。大型的導光板和反射板、從偏光膜等的光學膜片到大型鏡頭模具都可對應。	■1μm的四棱錐加工微細溝槽加工的精度是出現在、前後、左右的加工交叉點。１μm的四棱錐加工也實現尖銳交點。工件：NiP 鍍鋁
■光學片模具樣品（微細V溝槽加工） 90°Vbite時生成深度2μm的間距4μm的溝40125 條。從工件轉抄結果可看見X-Z軸的補間精度為 20nm左右。	■光學片模具樣品（微細V溝槽sin彎曲加工） 90°Vbite時生成深度1μm，間距2μm的溝10000條。可從工件轉抄結果看見X-Y-C軸的補間精度為150nm程度左右。